柱体型超声波电机的研究尽管起步较晚，但是已经出现了很多种的结构型式。日本的Minoru Kurosawa在1989年首先介绍了此类电机[9]，如图1.1所示此电机由一个定子和两个转子构成，采用兰杰文振子换能器作为定子，两个换能器块由不锈钢圆柱（外径20mm,内径12mm,长16mm）制成，压电陶瓷夹在中间，用螺栓组合在一起，定子在波节处进行支撑固定，两个转子用铜材制成，并由弹簧压在换能器两端，转子和换能器接触表面敷有摩擦材料，以此来保证可以产生足够的摩擦力，该电机利用了类似于自由-自由细杆的一阶弯曲振动模式；Takeshi Morita和Pin Lu等分别报道了此类电机的结构、原理和性能等；Kui Yao等于2001年介绍了将纵振动转换为弯曲振动的一种新型柱体超声波电机。国内是在2O世纪9O年代加入该研究行列的，研究较早的是清华大学的Longtu Li等，他在1995年研究了一种纵弯振动转换型柱体超声波电机；褚祥诚等介绍了一种直径为1．8mm 的棒状压电陶瓷微马达，阐述了压电微马达的驱动机理、部分制作工艺及工作特性；Shuxiang Dong等研制了直径15mm、单转子、基于弯曲振动模态的柱体超声波电机；胡敏强等研制了直径20mm的单定子和双定子两类柱体超声波电机。另外，Takafumiamano T等于1998年报道了利用单个定子的弯曲振动和纵振动的组合实现球形转子的三自由度运行的多自由度柱体超声波电机。图1.3(a) 为日本新生工业公司早期开发用于照相机调焦的空心环形超声波电机（直径为60mm）；图1.3(b)为该公司近年开发用于相机调焦的小型柱体超声波电动机（直径8mm，总长24mm）。从环形到小型柱体的变化，说明柱体超声波电动机在小型化领域具有良好的发展前景。64374

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