已经有研究表明，短时间的退火能显著提高合金的物理性能。但NiMnX的薄膜仍处于起步阶段。刘超等人对Ar工作压强对NiMnGa薄膜成分影响的研究发现，Ar工作压强升高可以使得薄膜的价电子浓度升高，并且影响薄膜的化学成分，另外，调节Ar工作气压可以调整马氏体相变温度，使得薄膜马氏体相变温度高于或者低于室温，为其应用了打下一定的基础[20]；陈峰华等人通过射频磁控溅射功率对NiMnGa薄膜成分形貌影响的研究发现，溅射功率较小时，晶粒都比较小，大小较为均匀，随着溅射功率的升高，晶粒有长大的趋势，因此，薄膜表面平均颗粒尺寸随着溅射功率的增大而增大，另外，通过对薄膜价电子浓度的分析发现，价电子浓度亦会随着溅射功率的改变而改变，从而影响晶体结构[21]；高来勖等人通过直流磁控溅射NiMnGa磁驱动记忆合金薄膜的XPS研究发现，氧杂质的引入将导致马氏体相中 Mn 含量的降低, 对 Mn 的磁矩和磁感生应变以及力学性能造成一定的影响[22]。60606

参考文献

[1] 何大智．智能材料与智能系统[M]．天津：天津大学出版社，2000．104

[2] 杨冠军，杨华斌，曹继敏．我国形状记忆合金研究与应用的新进展 [J]．材料导报， 2004，18 (2)：42-44．

[3] 杨杰，吴月华．形状记忆合金及其应用[M]．合肥：中国科学技术出版社，1993．79-93

[4] Cullen J. R，Clark A. E， Hathaway K. B. In Handbook of Materials Science[M]，edited 

by Bushow K.H.J. (VCH．Amsterdam，1997)， Chap．16

[5] 邢德进，李中献．形状记忆合金在土木工程中的研究与应用 [J]．材料导报，2006，20 (8)：62-68． 

[6] 廖志钦. Ni-Mn-In哈斯勒合金的相变及其磁性能研究[D]硕士论文网.南京理工大学.2013.

[7] 袁比飞．新型磁驱动形状记忆合金研究进展[J]．材料工程， 2007，2：62-65 [8]

[8] H. B. Xu, J. M. Wang, C. B. Jiang, Y. Li. Ni–Mn–Ga shape memory alloys development in China. Curr. Opin. Solid State & Mater. Sci. 2005, 9, 319-325

[9] A. Planes, L. Mañosa , M. Acet . Magnetocaloric effect and its relation to shape-memory properties in ferromagnetic Heusler alloys. J. Phys. Condens Matter. 2009 , 21 (23): 233201

[10] R. C. O’Handley. Model for strain and magnetization in magnetic shape-memory alloys. J. Appl. Phys. 1998, 83 (6): 3263-3270

[11] 丰焱. Ni-Mn-In基合金的马氏体相变与结构和性能[D]. 博士论文 . 黑龙江:哈尔滨工业大学, 2009

[12] Thorsten Krenke, Mehmet Acet, and Eberhard F. Wassermann. Ferromagnetism in the austenitic and martensitic states of Ni-Mn-In alloys. Phys. Rev. B. 2006, 73: 174413

[13] 王文洪.NiMnGa合金结构、磁性和单晶应用功能的研究[D].北京:中科院物理所，2002年.

[14] 刘超, 安旭, 高来勖, 等. Ar 工作压强对磁控溅射 Ni-Mn-Ga 铁磁形状记忆薄膜成分的影响[J]. 功能材料, 2006, 37(3): 367-369.

[15] 刘超, 牟海维, 高新成, 等. 磁控溅射 Ni56Mn27Ga17 高温形状记忆薄膜的马氏体相变与组织结构[J]. 功能材料, 2009, 40(11).

[16] 陈峰华, 张敏刚, 柴跃生, 等. 射频磁控溅射功率对 Ni-Mn-Ga 薄膜成分与形貌的影响[J]. 传感器与微系统, 2011, 30(4): 85-86.

[17] 徐祖耀. 马氏体相变与马氏体第二版[M]. 北京: 科学出版社, 1999. 693-710

[18] 段静芳, 张泽玉, 王东, 等. 具有一级磁相变的不同系列 NiMnGa 合金其电子浓度对相变温度的影响. 中国稀土学报. 2005, 23 (4)

[19] V. Sánchez-Alarcos, J. I. Pérez-Landazábal, V. Recarte, J. A. Rodríguez-Velamazán and V. A. Chernenko. Effect of atomic order on the martensitic and magnetic transformations in Ni-Mn-Ga ferromagnetic shape memory alloys. J. Phys. : Condens. Matter. 2010, 22: 166001 Ni-Mn-Ga合金的研究现状和参考文献:http://www.751com.cn/yanjiu/lunwen_66120.html