在国外对于微加速度计的开发研究大概开始于上世纪70年代，较早开始研究的机构有美国Stanford大学、加州大学Berkley分校和Draper实验室等。美国加州大学伯克利分校的研究人员在1997年用表面微机械加工工艺，使得谐振器的谐振频率可以达到68kHz，而标度因数可以达到45Hz/g[6]。韩国首尔大学在硅微加速度计方面也有一定的研究，论文网研制的基于混合微加工技术的硅微振梁加速度计零偏稳定性也已经达到5.2ug其标度因数达到64 Hz/g，谐振频率为24.8kHz,带宽为110Hz[7]。Polite Cnico Di Milano大学的Claudia Comi等人在2009年研究出一种高灵敏度单轴谐振式加速度计,它的优点是实现了结构几何参数的优化设计，从而加速度计的尺寸会变得非常小，灵敏度可以达到430 Hz/g[8]。由于与振梁式加速度计的结构设计相比，其输出信号采集系统是比较成熟的，所以在上述文献中并未介绍有关信号采集的内容。30046
国内对于振梁式加速度计的研究中有大致两种不同原理的加速度计输出数据采集电路系统。一种方法运用乘法器和低通滤波器，在硬件方面实现对差分频率信号的采集[9]。在这种方法中，对于差分频率信号的采集工作是用硬件电路来完成的，因此，硬件方面的电路会相对来说比较复杂，难以实现采集电路的小型化及集成化。另一种方法则是运用高速数字器件，选择高频脉冲计数来进行测频，从而可以实现加速度计两路差分信号的测量[10]，然后运用软件编程来算出频率的差值。该方法是用数字方法实现，测量精度比较高且能够实现测量电路的小型化设计。但这种方法也存在缺陷，脉冲的频率值会受到影响，不可能无限增大，这样的话，如果对测量精度要求十分高，该方法就不能实现。 硅微振梁式加速度计数据采集国内外研究现状:http://www.751com.cn/yanjiu/lunwen_25557.html