图1.7 长行程大推力精密运动平台[12]
如图 1.7所示，是南京航空航天大学李玉宝博士利用其自主研发的大推力直线超声电机开发的两自由度精密运动平台，利用分辨率为 2.5μm的直线光栅尺和GO-400运动控制卡在 PC 机上控制平台进行了初步的控制实验[13]，结果显示，此平台可以达到微米级的动态定位精度。因此，直接驱动大行程精密运动平台既满足了行程的要求，又满足了精度设置，是精密定位平台的选择。 国内外定位平台技术研究现状(2):http://www.751com.cn/yanjiu/lunwen_19637.html