1.2  研究现状 1991 年，美国 Koliopoulos 提出一种可以同时获取四幅移相干涉图的干涉仪的设计方案[3]。这种方案采用四个CCD相机，具体如图1.1 所示：  图1.1 同步移相干涉仪的光学结构 其中：QWP：1／4波片，HWP：半波片，PBS：偏振分光器，BS：分光镜 2000 年．德国科学家 Hettwer 等人进一步改进了迈克尔逊干涉仪，他们在望远镜焦点处放置光栅，将0级和±1级光分离出来，之后在±1级衍射光中间插进四分之一波片，这个四分之一波片分别和P 光和 S 光平行[4]。这三束光经过检偏器后，可以在同一个 CCD上面得到三幅移相干涉图，这三幅移相干涉图的位相差为 π/2，如图1.2所示。  图1.2 光栅分光偏振移相光路图 2004年，H2000型同步移相 Fizeau 干涉仪利用了迈特公司推出的商品化的 Intelliun技术[5,6]。这个干涉仪的主要优点是它配备了三个 CCD，利用这三个CCD 来采集的图像分辨率都很高。但是它也有一个不好的地方，就是它需要将参考镜倾斜一个角度，这样导致测试光和参考光不共光路，进而导致比较高的轴外像差。尽管测试平面的时候设计镜头降低减少像差。但是测量球面的时候却不行，很大的像差影响实验效果。  图 1.3 ESDI的Fizeau型同步移相干涉仪光路结构示意图 近年来，美国 4D 公司提出一种频移匹配 Fizeau 干涉仪的方案。同时他们推出了一种新的产品:FizCam3000动态 Fizeau 干涉仪[7]。具体的光路图如图 1.4所示。这个系统具体分为三个部分。光源、偏振频移装置和 Fizeau 干涉仪。这里面两个反射器，一个固定，一个可动。这个系统可以将光源具体分成两束正交的偏振光，P 光和 S 光。其中，S 是相对于 P 光有频率的改变。而频移是由动镜沿一个方向移动产生的，这个移动速度非常快。

 

 

同步移相干涉测试软件的研究及实现(2):http://www.751com.cn/tongxin/lunwen_54921.html